Unser z-Achsenmodul ZA5 kann nahtlos an unsere analogen Scanköpfe adaptiert werden. Hierdurch werden diese zu einem 3-Achs-System erweitert. Je nach Ausführung fungiert das z-Achsenmodul als Fokusshifter in Kombination mit einer F-Theta Linse oder alternativ dazu als variables Fokusiersystem durch den Scankopf hindurch und ersetzt somit die herkömmliche Planfeldlinse.